Définition EUV
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(De l'anglais : Extreme UltraViolet.)
La lithographie E.U.V est radicalement différente des scanneurs optiques actuels (2004) qui fonctionnent dans le milieu ambiant avec une pellicule plastique pour protéger les masques contre les particules. Les rayonnements E.U.V sont absorbés par tous les matériaux et doivent se produire sous vide et sans pellicule.
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